基于超聲震動式處理的半導(dǎo)體晶圓的清洗裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110365913.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112735995A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112735995A 申請公布日 2021-06-04
分類號 H01L21/67;H01L21/687;B08B3/02;B08B13/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢誠;李剛;童建 申請（專利權(quán)）人 亞電科技南京有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京商專潤文專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 210000 江蘇省南京市江寧區(qū)雙龍大道1347號同曦大廈605-7室（江寧開發(fā)區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地說，涉及基于超聲震動式處理的半導(dǎo)體晶圓的清洗裝置和方法。其包括清洗機(jī)，清洗機(jī)至少包括：清潔體，清潔體包括清潔箱，清潔箱設(shè)置有清洗槽，清潔箱設(shè)置有進(jìn)水管，清洗槽設(shè)置有出水管，出水管設(shè)置有閥門，清洗槽設(shè)置有震動體，清潔箱連接有遮蔽體，遮蔽體包括頂板，頂板設(shè)置有扶手；安裝體，安裝體包括四號連接體，四號連接體設(shè)置有二號連接體，二號連接體設(shè)置有安裝槽，安裝槽安裝有固定體，固定體包括固定架，固定架設(shè)置有間距調(diào)節(jié)體，間距調(diào)節(jié)體包括調(diào)節(jié)桿，調(diào)節(jié)桿連接有接觸板。本發(fā)明主要提出一種可有效地清除殘留在晶圓上的微塵等雜質(zhì)的清洗裝置及其清洗方法。