單片晶圓清洗裝置清洗盤結(jié)構(gòu)及單片晶圓清洗裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110239959.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113113328A | 公開（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113113328A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-13 |
| 分類號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 錢誠(chéng);李文亭;朱震 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 亞電科技南京有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京商專潤(rùn)文專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陳平 |
| 地址 | 210000江蘇省南京市江寧區(qū)雙龍大道1347號(hào)同曦大廈605-7室（江寧開發(fā)區(qū)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)涉及一種單片晶圓清洗裝置清洗盤結(jié)構(gòu)，晶圓朝上由清洗液噴管噴出清洗液進(jìn)行清洗，再由清水噴管噴出清水，以去除晶圓上的清洗劑殘留，使用清洗液噴管和清水噴管時(shí)，通過旋轉(zhuǎn)清洗液噴管和清水噴管使之對(duì)應(yīng)到達(dá)晶圓上方，無(wú)須使用則將清洗液噴管和清水噴管移走以防止干擾，清洗液噴管為并列的若干根可噴出不同類型的清洗液，實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用。同時(shí)，加熱后的氮?dú)鈴霓D(zhuǎn)軸中間的通道經(jīng)過空腔從通孔噴出，在加熱晶圓的同時(shí)，在晶圓底部形成氣流防止清洗液流入晶圓底面。 |
