紅外熱電堆溫度傳感器的自測試和自校準系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510767381.0 申請日 -
公開（公告）號 CN105444893B 公開（公告）日 2018-09-21
申請公布號 CN105444893B 申請公布日 2018-09-21
分類號 G01J5/14 分類 測量；測試;
發(fā)明人 余丹;李佳 申請（專利權(quán)）人 北京中科微知識產(chǎn)權(quán)服務有限公司
代理機構(gòu) 無錫市大為專利商標事務所（普通合伙） 代理人 江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心;北京中科微知識產(chǎn)權(quán)服務有限公司
地址 214135 江蘇省無錫市新區(qū)菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園C座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種紅外熱電堆溫度傳感器的自測試和自校準系統(tǒng)，實現(xiàn)紅外熱電堆溫度傳感器在片上電激勵下的自測試和自校準。其特點在于根據(jù)傳統(tǒng)的MEMS工藝，為紅外熱電堆溫度傳感器提供電激勵的同時，能夠利用片上激勵，對熱電堆輸出的信號進行放大，模數(shù)/數(shù)模轉(zhuǎn)換和數(shù)字處理，從而實現(xiàn)對紅外熱電堆溫度傳感器片上響應率的自測試和自校準。優(yōu)化了外部環(huán)境對熱電堆溫度傳感器響應率的影響，減少了使用片外高精度的設備產(chǎn)生的測試和校準費用。