平行板電容型MEMS加速度計內建自測試電路及自測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610161273.3 申請日 -
公開（公告）號 CN105823907B 公開（公告）日 2019-04-16
申請公布號 CN105823907B 申請公布日 2019-04-16
分類號 G01P15/125（2006.01）I; G01P21/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 余丹; 李佳 申請（專利權）人 北京中科微知識產權服務有限公司
代理機構 無錫市大為專利商標事務所（普通合伙） 代理人 江蘇物聯(lián)網研究發(fā)展中心;北京中科微知識產權服務有限公司
地址 214135 江蘇省無錫市新區(qū)菱湖大道200號中國傳感網國際創(chuàng)新園C座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種平行板電容型MEMS加速度計內建自測試電路，以及一種自測試方法，對平行板電容加速度計提供電激勵，將電容傳感模塊輸出的信號進行放大，模數(shù)轉換和數(shù)字處理，根據(jù)不同條件下的自測試供電電壓V1和V2以及電容傳感模塊的輸出響應Vc分析其靈敏度S，從而實現(xiàn)對平行板電容型MEMS加速度計的工藝缺陷進行診斷并且對電容加速度計的靈敏度S進行內建自測試。優(yōu)化了外部環(huán)境和寄生電容對輸出信號的影響，提高測試的標準化程度、降低對復雜測試儀器的依賴度，從而有效降低其測試與產品成本。