平行板電容型MEMS加速度計(jì)內(nèi)建自測(cè)試電路及自測(cè)試方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610161273.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105823907B 公開（公告）日 2019-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN105823907B 申請(qǐng)公布日 2019-04-16
分類號(hào) G01P15/125（2006.01）I; G01P21/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 余丹; 李佳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京中科微知識(shí)產(chǎn)權(quán)服務(wù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心;北京中科微知識(shí)產(chǎn)權(quán)服務(wù)有限公司
地址 214135 江蘇省無錫市新區(qū)菱湖大道200號(hào)中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園C座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種平行板電容型MEMS加速度計(jì)內(nèi)建自測(cè)試電路，以及一種自測(cè)試方法，對(duì)平行板電容加速度計(jì)提供電激勵(lì)，將電容傳感模塊輸出的信號(hào)進(jìn)行放大，模數(shù)轉(zhuǎn)換和數(shù)字處理，根據(jù)不同條件下的自測(cè)試供電電壓V1和V2以及電容傳感模塊的輸出響應(yīng)Vc分析其靈敏度S，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)平行板電容型MEMS加速度計(jì)的工藝缺陷進(jìn)行診斷并且對(duì)電容加速度計(jì)的靈敏度S進(jìn)行內(nèi)建自測(cè)試。優(yōu)化了外部環(huán)境和寄生電容對(duì)輸出信號(hào)的影響，提高測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)化程度、降低對(duì)復(fù)雜測(cè)試儀器的依賴度，從而有效降低其測(cè)試與產(chǎn)品成本。