一種新型光刻膠顯影裝置及顯影方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811636147.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109375481A 公開（公告）日 2019-02-22
申請公布號 CN109375481A 申請公布日 2019-02-22
分類號 G03F7/30 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 王曉龍;姚俊俊 申請（專利權）人 上海彩丞新材料科技有限公司
代理機構 嘉興啟帆專利代理事務所（普通合伙） 代理人 上海彩丞新材料科技有限公司
地址 201600 上海市松江區(qū)中創(chuàng)路68號6幢2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種新型光刻膠顯影裝置，包括基臺固定架、光刻膠板固定架、顯影液罐、超純水罐、緩存槽以及液體流通口；所述顯影液罐、超純水罐選擇性的與所述緩沖槽連通，所述緩沖槽內的液體通過液體流通口與外部連通；所述液體流通口位于光刻膠固定架上方，顯影工藝是通過顯影液與光刻膠發(fā)生化學反應而生成紋理圖案，由于本裝置顯影時顯影液均勻的流過光刻膠表面，避免了顯影不均勻和光刻圖案上殘留氣泡的問題，提高了產(chǎn)品的質量。