一種新型光刻膠顯影裝置及顯影方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811636147.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109375481A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-02-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109375481A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-02-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/30 | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 王曉龍;姚俊俊 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海彩丞新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 嘉興啟帆專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 上海彩丞新材料科技有限公司 |
| 地址 | 201600 上海市松江區(qū)中創(chuàng)路68號(hào)6幢2樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種新型光刻膠顯影裝置，包括基臺(tái)固定架、光刻膠板固定架、顯影液罐、超純水罐、緩存槽以及液體流通口；所述顯影液罐、超純水罐選擇性的與所述緩沖槽連通，所述緩沖槽內(nèi)的液體通過(guò)液體流通口與外部連通；所述液體流通口位于光刻膠固定架上方，顯影工藝是通過(guò)顯影液與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而生成紋理圖案，由于本裝置顯影時(shí)顯影液均勻的流過(guò)光刻膠表面，避免了顯影不均勻和光刻圖案上殘留氣泡的問(wèn)題，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。 |
