一種掩膜版清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822193307.4 申請日 -
公開（公告）號 CN209577532U 公開（公告）日 2019-11-05
申請公布號 CN209577532U 申請公布日 2019-11-05
分類號 B08B3/02（2006.01）I; B08B1/00（2006.01）I; B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 王曉龍; 姚俊俊 申請（專利權）人 上海彩丞新材料科技有限公司
代理機構 嘉興啟帆專利代理事務所（普通合伙） 代理人 上海彩丞新材料科技有限公司
地址 201600 上海市松江區(qū)中創(chuàng)路68號6幢2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種掩膜版清洗裝置，包括基臺固定架、掩膜版固定架、噴淋沖洗機構、掩膜版固定架旋轉驅動機構；掩膜版固定架用于夾持掩膜版，其為矩形狀且寬度和長度可根據(jù)掩膜版的尺寸做出適應性調節(jié)；噴淋沖洗機構包含第一噴淋沖洗機構和第二噴淋沖洗機構，第一噴淋沖洗機構和第二噴淋沖洗機構可選擇性的開啟對所述掩膜版進行噴淋；掩膜版固定架旋轉驅動機構可帶動所述掩膜版固定架繞其水平中軸線以設定速度旋轉，掩膜版簡易清洗裝置，單人操作即可完成，因避免了人為的直接接觸，避免了掩膜版的二次污染。