一種掩膜版清洗裝置及其清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811590865.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109482557A 公開（公告）日 2019-03-19
申請公布號 CN109482557A 申請公布日 2019-03-19
分類號 B08B3/02（2006.01）I; B08B1/00（2006.01）I; B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 王曉龍; 姚俊俊 申請（專利權(quán)）人 上海彩丞新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海彩丞新材料科技有限公司
地址 201600 上海市松江區(qū)中創(chuàng)路68號6幢2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種掩膜版清洗裝置及其清洗方法，包括基臺固定架、掩膜版固定架、噴淋沖洗機(jī)構(gòu)、掩膜版固定架旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)；掩膜版固定架用于夾持掩膜版，其為矩形狀且寬度和長度可根據(jù)掩膜版的尺寸做出適應(yīng)性調(diào)節(jié)；噴淋沖洗機(jī)構(gòu)包含第一噴淋沖洗機(jī)構(gòu)和第二噴淋沖洗機(jī)構(gòu)，第一噴淋沖洗機(jī)構(gòu)和第二噴淋沖洗機(jī)構(gòu)可選擇性的開啟對所述掩膜版進(jìn)行噴淋；掩膜版固定架旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)可帶動所述掩膜版固定架繞其水平中軸線以設(shè)定速度旋轉(zhuǎn)，掩膜版簡易清洗裝置，單人操作即可完成，因避免了人為的直接接觸，避免了掩膜版的二次污染。