一種硅基微顯示器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110995493.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113611730A 公開（公告）日 2021-11-05
申請公布號 CN113611730A 申請公布日 2021-11-05
分類號 H01L27/32（2006.01）I;H01L51/50（2006.01）I;H01L51/52（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王衛(wèi)衛(wèi);周文斌;馮峰;范國振;徐超;曹云嶺;張峰;孫劍;高裕弟 申請（專利權(quán)）人 昆山夢顯電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京遠智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 范坤坤
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市晨豐路188號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅基微顯示器及其制備方法，制備方法包括：提供驅(qū)動背板；在驅(qū)動背板的一側(cè)依次形成第一電極層、第一功能層、白光發(fā)光層、第二功能層和第二電極層；其中，第一功能層和第二功能層中的至少一層包括通過多次錯位蒸鍍方式形成的厚度不完全相同的微腔調(diào)節(jié)層；不同厚度的微腔調(diào)節(jié)層用于增強白光發(fā)光層發(fā)射的白光中不同顏色的光。通過在掩膜版的作用下，采用多次錯位蒸鍍的方式，實現(xiàn)形成厚度不完全相同的微腔調(diào)節(jié)層，使得可以實現(xiàn)紅色子像素、綠色子像素、藍色子像素對應(yīng)的微腔厚度不一致。保證了RGB對應(yīng)的子像素點發(fā)光時，白光光譜峰值最大時分別對應(yīng)RGB的峰位，最終實現(xiàn)硅基微顯示器的亮度提升，改善了亮度提升困難的問題。