一種基板載臺及蒸鍍機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122654285.9 申請日 -
公開（公告）號 CN216107174U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216107174U 申請公布日 2022-03-22
分類號 C23C14/50（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 朱曉慶;周文斌;王衛(wèi)衛(wèi);徐超;李高敏;馮峰;孫劍;高裕弟 申請（專利權(quán)）人 昆山夢顯電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 林波
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市晨豐路188號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及蒸鍍機技術(shù)領(lǐng)域，公開一種基板載臺及蒸鍍機。其中基板載臺包括載臺本體，載臺本體上設(shè)置有階梯槽，沿階梯槽的槽深方向，階梯槽至少包括第一階梯和第二階梯，第一階梯形成第一放置位，第二階梯形成第二放置位，第一放置位和第二放置位的橫截面形狀不同，第一放置位和第二放置位用于放置與其橫截面形狀適配的基板。本實用新型通過在載臺本體上設(shè)置階梯槽，形成沿階梯槽槽深方向的至少一個第一放置位和至少一個第二放置位，且第一放置位與第二放置位的橫截面形狀不同，使得同一個載臺本體可以用于放置不同形狀的基板，提高了基板載臺的通用性，降低了成本低；在需要針對不同形狀的基板蒸鍍時，無需更換基板載臺，提高了工作效率。