一種適用于HJT電池非晶硅沉積的多層PECVD設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011450582.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112760621A | 公開（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112760621A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號(hào) | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/509(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 白焱輝;楊立友;王繼磊;馮樂(lè);黃金;郭磊;張永前;鮑少娟;杜凱;師海峰;楊文亮;孔青青 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 晉能光伏技術(shù)有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京慕達(dá)星云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 符繼超 |
| 地址 | 030600山西省晉中市山西綜改示范區(qū)晉中開發(fā)區(qū)新能源汽車園區(qū)廣安東街533號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種適用于HJT電池非晶硅沉積的多層PECVD設(shè)備，包括：預(yù)熱腔、工藝腔和冷卻腔，并依次相連通，硅片在預(yù)熱腔預(yù)熱后輸送至所述工藝腔用于沉積非晶硅薄膜，并從所述工藝腔輸送至所述冷卻腔進(jìn)行冷卻；所述工藝腔的一個(gè)側(cè)面設(shè)置有進(jìn)氣口，相對(duì)的側(cè)面設(shè)置有尾氣管路，且所述工藝腔的內(nèi)部設(shè)置有至少兩個(gè)電極板，所述電極板在豎直方向上平行設(shè)置，并通過(guò)絕緣塊間隔相鄰的兩個(gè)所述電極板，相鄰的兩個(gè)所述電極板分別連接射頻電源和零電勢(shì)；所述尾氣管路上至少設(shè)置有一個(gè)抽氣孔；本發(fā)明為單腔多層非晶硅沉積設(shè)備，電極板在豎直方向上平行設(shè)置，形成多層結(jié)構(gòu)，能夠有效減小設(shè)備的占地面積，大幅度增加單臺(tái)設(shè)備產(chǎn)能，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題。?? |
