一種用于鍍膜腔室的防塵機構(gòu)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021944023.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213266679U | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請公布號 | CN213266679U | 申請公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號 | C23C14/24(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 鮑少娟;王繼磊;李永樂;黃金;楊立友;賈慧君 | 申請（專利權）人 | 晉能光伏技術有限責任公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京慕達星云知識產(chǎn)權代理事務所（特殊普通合伙） | 代理人 | 姜海榮 |
| 地址 | 030600山西省晉中市山西綜改示范區(qū)晉中開發(fā)區(qū)新能源汽車園區(qū)廣安東街533號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種用于鍍膜腔室的防塵機構(gòu)，包括支撐板、防塵擋板和位移驅(qū)動機構(gòu)；支撐板水平布置在鍍膜腔室的內(nèi)部，且位于鍍膜基板和鍍膜源的上方；防塵擋板由多塊防塵單元板在水平面內(nèi)可拆卸拼接組成；防塵擋板可拆卸連接在支撐板的底面上；位移驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動支撐板實現(xiàn)水平移動。本實用新型通過防塵擋板吸附顆粒粉塵，防塵擋板由至少兩個防塵單元板組成，通過位移驅(qū)動機構(gòu)帶動防塵擋板水平移動，可以快速更換防塵單元板，避免吸附在遮擋面上的雜質(zhì)掉落鍍膜基板上，還能避免雜質(zhì)散落在鍍膜腔體中而污染腔體；能有效延長設備維護周期，提高設備稼動率，降低設備運行成本，提升產(chǎn)品良率，還有利于擋板上鍍膜材料的回收利用。?? |
