一種薄膜體聲波諧振器及制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210643709.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114726336A | 公開（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114726336A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-08 |
| 分類號(hào) | H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 吳淑嫻;吳宗霖;錢航宇;唐供賓;鄒潔 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳新聲半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 518049廣東省深圳市福田區(qū)梅林街道梅都社區(qū)中康路136號(hào)深圳新一代產(chǎn)業(yè)園3棟801 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種薄膜體聲波諧振器及制備方法，在該薄膜體聲波諧振器中，由凸起和/或凹陷構(gòu)成的波浪型的第一電極與由凸起和/或凹陷構(gòu)成的波浪型的第二電極相對(duì)設(shè)置，例如第一電極的凸起與第二電極的凸起相對(duì)設(shè)置，第一電極的凹陷與第二電極的凹陷相對(duì)設(shè)置，第一電極與第二電極形成的凸起與凹陷的這種結(jié)構(gòu)可以減少聲波能量在垂直方向的泄露；又因?yàn)閴弘妼釉诘谝浑姌O與第二電極之間，且任意位置的厚度都相同，這種結(jié)構(gòu)可以使同頻率的聲波信號(hào)進(jìn)行相干疊加，所以能夠有效減小聲波能量在垂直方向的泄漏。將第一電極與第二電極形成凸起與凹陷的結(jié)構(gòu)并且使壓電層任意位置的厚度相同，有效地提高了諧振器的品質(zhì)因數(shù)和優(yōu)值。 |
