一種薄膜體聲波諧振器及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210643709.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114726336A 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN114726336A 申請公布日 2022-07-08
分類號 H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 吳淑嫻;吳宗霖;錢航宇;唐供賓;鄒潔 申請（專利權(quán)）人 深圳新聲半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 518049廣東省深圳市福田區(qū)梅林街道梅都社區(qū)中康路136號深圳新一代產(chǎn)業(yè)園3棟801
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種薄膜體聲波諧振器及制備方法，在該薄膜體聲波諧振器中，由凸起和/或凹陷構(gòu)成的波浪型的第一電極與由凸起和/或凹陷構(gòu)成的波浪型的第二電極相對設(shè)置，例如第一電極的凸起與第二電極的凸起相對設(shè)置，第一電極的凹陷與第二電極的凹陷相對設(shè)置，第一電極與第二電極形成的凸起與凹陷的這種結(jié)構(gòu)可以減少聲波能量在垂直方向的泄露；又因?yàn)閴弘妼釉诘谝浑姌O與第二電極之間，且任意位置的厚度都相同，這種結(jié)構(gòu)可以使同頻率的聲波信號進(jìn)行相干疊加，所以能夠有效減小聲波能量在垂直方向的泄漏。將第一電極與第二電極形成凸起與凹陷的結(jié)構(gòu)并且使壓電層任意位置的厚度相同，有效地提高了諧振器的品質(zhì)因數(shù)和優(yōu)值。