多晶硅鑄錠用石英坩堝底部引晶涂層的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410340413.4 申請日 -
公開(公告)號 CN104140759B 公開(公告)日 2016-08-24
申請公布號 CN104140759B 申請公布日 2016-08-24
分類號 B05D1/26(2006.01)I 分類 一般噴射或霧化;對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 沈維根;吳建;陳先榮;圣成斌;朱華英 申請(專利權(quán))人 寧波晶元太陽能有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波誠源專利事務(wù)所有限公司 代理人 袁忠衛(wèi)
地址 315800 浙江省寧波市保稅東區(qū)港東大道26號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多晶硅鑄錠用石英坩堝底部引晶涂層的制備方法,該制備方法用涂刷工藝取代現(xiàn)有技術(shù)的燒結(jié)或噴涂工藝,整個過程都在室溫下進(jìn)行,環(huán)保、節(jié)能且降低了生產(chǎn)成本;制備過程中,高分子硅基有機(jī)膠主要采取硅橡膠、丁腈橡膠和SiO2進(jìn)行水解、縮聚而成,其與2%左右的硅烷偶聯(lián)劑混合后可產(chǎn)生較強(qiáng)的粘合力,進(jìn)行涂覆后會在坩堝表面形成化學(xué)鍵,與氮化硅鍵合,從而牢固的附著在坩堝上;由高分子聚乙烯醇和硅粉混合,再加入2%左右的硅烷偶聯(lián)劑后也可產(chǎn)生較強(qiáng)的粘合力,吸附在氮化硅涂層上,從而使引晶涂層得以直接與硅料接觸,提高了硅錠的質(zhì)量指標(biāo)。