用于多晶硅垂直定向生長(zhǎng)的隨動(dòng)隔熱環(huán)熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010108876.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101775641A 公開(kāi)（公告）日 2010-07-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN101775641A 申請(qǐng)公布日 2010-07-14
分類號(hào) C30B15/14(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 唐駿;傅林堅(jiān);沈維根;石剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波晶元太陽(yáng)能有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 代理人 寧波晶元太陽(yáng)能有限公司;上虞晶盛機(jī)電工程有限公司;浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
地址 315800浙江省寧波市寧波保稅區(qū)港東大道26號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及多晶硅鑄錠爐設(shè)計(jì)與制造技術(shù)領(lǐng)域，旨在提供用于多晶硅垂直定向生長(zhǎng)的隨動(dòng)隔熱環(huán)熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)。該熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)包括包括內(nèi)設(shè)有側(cè)面包圍式的隔熱籠體的爐室，坩堝及熱場(chǎng)均置于隔熱籠體中，隔熱籠體的上端與提升裝置相連；隔熱籠體上下分別設(shè)置頂部保溫板和下保溫層，其中頂部保溫板固定懸掛于電極上，下保溫層及所述熱交換臺(tái)均固定于支撐柱上，頂部保溫板與隔熱籠體上端活動(dòng)相接、下保溫層與隔熱籠體下端活動(dòng)相接；一個(gè)環(huán)形的隨動(dòng)隔熱環(huán)通過(guò)數(shù)個(gè)連接裝置固定在隔熱籠體的內(nèi)部。本發(fā)明設(shè)計(jì)合理，能夠增大多晶硅晶粒，減少晶界，改善晶體生長(zhǎng)方向垂直度，從而提高多晶硅鑄錠品質(zhì)，同時(shí)隨動(dòng)隔熱環(huán)也起到了降低能耗的作用。