一種DNA堿基序列檢測(cè)的納米孔三明治結(jié)構(gòu)及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811044329.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109182484A 公開（公告）日 2019-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN109182484A 申請(qǐng)公布日 2019-01-11
分類號(hào) C12Q1/6869;C23C16/34;C23C16/40 分類 生物化學(xué)；啤酒；烈性酒；果汁酒；醋；微生物學(xué)；酶學(xué)；突變或遺傳工程;
發(fā)明人 袁志山;俞驍;凌新生 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京羅島納米科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京鐘山專利代理有限公司 代理人 戴朝榮
地址 215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路398號(hào)中科院納米所D棟918室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種DNA堿基序列檢測(cè)的納米孔三明治結(jié)構(gòu)及其制作方法。首先在基體兩側(cè)表面沉積Si3N4/SiO2/Si3N4三層納米薄膜；接著刻蝕基體一側(cè)薄膜形成基板釋放窗口；接著刻蝕基體另外一側(cè)薄膜中的頂層Si3N4；然后使用堿性溶液從基體釋放窗口刻蝕基板得到由Si3N4/SiO2兩層納米薄膜組成的自支撐納米薄膜。接著在SiO2上方沉積Si3N4，再次得到懸空的納米薄膜結(jié)構(gòu)，退火，使用氦離子束刻蝕出納米通孔；最后使用緩沖過(guò)的氫氟酸刻蝕SiO2，得到由SiO2空腔和兩個(gè)Si3N4納米孔組成的三明治結(jié)構(gòu)。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單，與CMOS工藝的兼容使其有較好的擴(kuò)展性，同時(shí)可以重復(fù)循環(huán)使用，有較廣的使用前景。