一種基片架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711267400.9 申請日 -
公開（公告）號 CN107881479B 公開（公告）日 2019-08-20
申請公布號 CN107881479B 申請公布日 2019-08-20
分類號 C23C14/50;C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 桂丹;曠玉林 申請（專利權(quán)）人 江西中科泰盛光電有限公司
代理機構(gòu) 寧波市鄞州甬致專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃宗熊
地址 343700 江西省吉安市泰和縣工業(yè)園區(qū)泰和電子智能終端產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基片架，包括框架，框架設(shè)有裝載玻璃基片的區(qū)域，該區(qū)域設(shè)有至少一個二面固定結(jié)構(gòu)；二面固定結(jié)構(gòu)包括位于下部的支座和位于上部的彈性支撐件；支座設(shè)有前后兩個并列設(shè)置的定位部，該定位部用于限位玻璃基板的一邊，彈性支撐件設(shè)有前后兩個并列設(shè)置的彈性件，該彈性件用于彈性限位所述的玻璃基板的一邊所相對的另一邊。本發(fā)明通過將基片架一面裝取改為前后二面裝取，裝載量為現(xiàn)有技術(shù)的兩倍，極大地提高生產(chǎn)效率，減少了人力、物力和濺射工藝消耗的能源，大大降低生產(chǎn)成本。