一種陣列式超聲換能器及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011313542.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112657817A 公開(kāi)（公告）日 2021-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN112657817A 申請(qǐng)公布日 2021-04-16
分類(lèi)號(hào) B06B1/06 分類(lèi) 一般機(jī)械振動(dòng)的發(fā)生或傳遞;
發(fā)明人 馬騰;張琪;黃繼卿;李永川;鄭海榮 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳皓影醫(yī)療科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 駱宗力
地址 518055 廣東省深圳市南山區(qū)西麗深圳大學(xué)城學(xué)苑大道1068號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種陣列式超聲換能器及其制作方法，本發(fā)明提供的超聲換能單元能夠通過(guò)聲阻抗匹配層解決超聲換能單元與目標(biāo)物體之間阻抗不匹配的問(wèn)題，提高超聲換能單元的輸出帶寬和幅值響應(yīng)，增大其成像分辨率和靈敏度。并且超聲換能單元能夠通過(guò)聲學(xué)超構(gòu)表面實(shí)現(xiàn)對(duì)波束控制及偏轉(zhuǎn)、波束聚焦等調(diào)節(jié)時(shí)產(chǎn)生聲場(chǎng)畸變進(jìn)行矯正，同時(shí)實(shí)現(xiàn)超聲換能單元成像分辨率及信噪比的進(jìn)一步提升。以及通過(guò)將多個(gè)超聲換能單元呈陣列排布得到陣列式超聲換能器，進(jìn)而提高陣列式超聲換能器的適用范圍和性能。同時(shí)，本發(fā)明采用正向生長(zhǎng)工藝生長(zhǎng)聲阻抗匹配層，進(jìn)而能夠提高聲阻抗匹配層的厚度精準(zhǔn)度，進(jìn)一步提高陣列式超聲換能器的性能。