一種小尺寸高靈敏度高信噪比的MEMS硅麥克風

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111142264.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113905316A 公開（公告）日 2022-01-07
申請公布號 CN113905316A 申請公布日 2022-01-07
分類號 H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I;H04R3/02（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 劉寶玉;田永超;趙首領(lǐng);曾伍陽;申會文;楊勇 申請（專利權(quán)）人 泰芯微（重慶）半導體有限公司
代理機構(gòu) 重慶啟恒騰元專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 萬建
地址 402760重慶市璧山區(qū)璧泉街道劍山路123號（3號廠房）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種小尺寸高靈敏度高信噪比的MEMS硅麥克風，涉及傳音設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括硅電路板和收音罩，收音罩罩壁內(nèi)部開設(shè)有若干收音孔道，硅電路板與收音罩之間設(shè)有收音架，收音架的收音板與收音罩之間設(shè)有傳音彈簧。本發(fā)明通過設(shè)置碗形收音罩，利用其外側(cè)面的弧形結(jié)構(gòu)，能夠全方位地收集多處的聲音信號，提高聲音傳播收集的靈敏度；其中在收音罩罩壁內(nèi)部開設(shè)若干螺旋形收音孔道，能夠?qū)⒌皖l雜波進行緩沖處理，減少低頻噪音；通過在收音罩和硅電路板內(nèi)部設(shè)置收音架，利用若干收音板構(gòu)成傘形結(jié)構(gòu)，能夠大范圍接收聲音信號并進行集中放大處理，提高靈敏度；同時利用傳音彈簧能夠?qū)⒔邮盏降穆曇粜盘栔械母哳l雜波過濾掉，減少高頻噪音。