一種用于半導(dǎo)體拋光的輸送管路清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020914632.X 申請日 -
公開（公告）號 CN212597655U 公開（公告）日 2021-02-26
申請公布號 CN212597655U 申請公布日 2021-02-26
分類號 B08B9/032(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 彭代全 申請（專利權(quán)）人 上海裕詩實(shí)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海伯瑞杰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王一琦
地址 201620上海市松江區(qū)新松江路1800弄3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體拋光的輸送管路清洗裝置，其包括：推車本體，底部設(shè)有萬向輪，推車本體的內(nèi)部上方和下方分別設(shè)有管路容置腔和清洗桶容置腔；清洗桶，放置在清洗桶容置腔內(nèi)，清洗桶包括依次并排放置的第一純水桶、KOH桶和第二純水桶，第一純水桶、KOH桶和第二純水桶的底部均經(jīng)液位傳感器和氣動閥門與電動水泵的入口相連接，電動水泵的出口經(jīng)連接管與待清洗的輸送管路相連接，其中，KOH桶內(nèi)設(shè)置有KOH溶液；純水管路，一端與外部的純水供水管路相連接，純水管路的另一端穿過管路容置腔后分別與第一純水桶、KOH桶和第二純水桶的頂部相連通。本實(shí)用新型不僅清洗效果好、清洗效率高，而且使用簡單方便、安全性高。??