一種用于半導(dǎo)體拋光的輸送管路清洗裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020914632.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212597655U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212597655U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-26 |
| 分類號(hào) | B08B9/032(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 彭代全 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海裕詩(shī)實(shí)業(yè)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海伯瑞杰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王一琦 |
| 地址 | 201620上海市松江區(qū)新松江路1800弄3號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于半導(dǎo)體拋光的輸送管路清洗裝置，其包括：推車本體，底部設(shè)有萬(wàn)向輪，推車本體的內(nèi)部上方和下方分別設(shè)有管路容置腔和清洗桶容置腔；清洗桶，放置在清洗桶容置腔內(nèi)，清洗桶包括依次并排放置的第一純水桶、KOH桶和第二純水桶，第一純水桶、KOH桶和第二純水桶的底部均經(jīng)液位傳感器和氣動(dòng)閥門與電動(dòng)水泵的入口相連接，電動(dòng)水泵的出口經(jīng)連接管與待清洗的輸送管路相連接，其中，KOH桶內(nèi)設(shè)置有KOH溶液；純水管路，一端與外部的純水供水管路相連接，純水管路的另一端穿過(guò)管路容置腔后分別與第一純水桶、KOH桶和第二純水桶的頂部相連通。本實(shí)用新型不僅清洗效果好、清洗效率高，而且使用簡(jiǎn)單方便、安全性高。?? |
