一種防止研磨液結(jié)晶的半導(dǎo)體研磨機用噴水裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921803444.3 申請日 -
公開（公告）號 CN210790525U 公開（公告）日 2020-06-19
申請公布號 CN210790525U 申請公布日 2020-06-19
分類號 B24B37/34(2012.01)I 分類 -
發(fā)明人 彭代全 申請（專利權(quán)）人 上海裕詩實業(yè)有限公司
代理機構(gòu) 北京棘龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 戴麗偉
地址 201620上海市松江區(qū)新松江路1800弄3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開的屬于半導(dǎo)體研磨機技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種防止研磨液結(jié)晶的半導(dǎo)體研磨機用噴水裝置，包括連接件、輸水裝置和支架結(jié)構(gòu)，所述連接件的頂部中間安裝有立柱，所述立柱的外壁與兩個支架結(jié)構(gòu)連接，所述支架結(jié)構(gòu)的底部與輸水裝置固定連接，所述支架結(jié)構(gòu)的頂部安裝有噴水管，所述噴水管的一端通過連接管與輸水裝置連接，通過輸水裝置與噴水管連接，對立柱進行噴水，防止立柱在裝置研磨時研磨液在該區(qū)域造成結(jié)晶的情況發(fā)生，方便下次的使用。??