一種用于半導(dǎo)體晶圓量測機臺的上下料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020914604.8 申請日 -
公開（公告）號 CN211788925U 公開（公告）日 2020-10-27
申請公布號 CN211788925U 申請公布日 2020-10-27
分類號 H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 彭代全 申請（專利權(quán)）人 上海裕詩實業(yè)有限公司
代理機構(gòu) 上海伯瑞杰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王一琦
地址 201620上海市松江區(qū)新松江路1800弄3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于半導(dǎo)體晶圓量測機臺的上下料裝置，其包括：量測機臺本體，包括測試平臺和搬運機械手，搬運機械手安裝在測試平臺的邊側(cè)；轉(zhuǎn)臺，轉(zhuǎn)動設(shè)置在地面上，轉(zhuǎn)臺的上表面周向方向上設(shè)置有多個晶圓框架盒，每個晶圓框架盒的內(nèi)部依次疊放有多個晶圓；過渡單元，包括支架和過渡轉(zhuǎn)接盒，支架固定在地面上，過渡轉(zhuǎn)接盒固定在支架的頂部，過渡轉(zhuǎn)接盒的內(nèi)部設(shè)有上下間隔分布的第一插槽和第二插槽；上料機械手，設(shè)置在轉(zhuǎn)臺和過渡單元之間。本實用新型減少了工人上下料的頻次，提高了自動化程度，同時，保證了系統(tǒng)的安全性，且能做到連續(xù)工作，提升檢測效率。??