一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的液體管路偵測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020262856.7 申請日 -
公開（公告）號 CN211780227U 公開（公告）日 2020-10-27
申請公布號 CN211780227U 申請公布日 2020-10-27
分類號 F17D1/08(2006.01)I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 彭代全 申請（專利權(quán)）人 上海裕詩實業(yè)有限公司
代理機構(gòu) 上海伯瑞杰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王一琦
地址 201620上海市松江區(qū)新松江路1800弄3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的液體管路偵測裝置，其包括：管路本體，設(shè)置在半導(dǎo)體設(shè)備中，管路本體包括沿液體流向依次設(shè)置的第一管路本體和第二管路本體，第一管路本體和第二管路本體經(jīng)電磁閥相連通或斷開；壓力開關(guān)，設(shè)置在第二管路本體上；PLC控制單元，用于采集電磁閥的啟停信號及壓力開關(guān)的壓力信號；應(yīng)急清潔管道，一端與第一管路本體相連通，應(yīng)急清潔管道的另一端與三通閥的入口相連通，三通閥的第一出口與第二管路本體相連通，三通閥的第二出口與排污管相連通，其中，應(yīng)急清潔管道上設(shè)有第一手動開關(guān)閥，排污管上設(shè)有第二手動開關(guān)閥。本實用新型能使故障被快速準(zhǔn)確地檢測出來，還能提高第二管路本體的清潔度和使用壽命。??