一種半導(dǎo)體拋光液的旋轉(zhuǎn)輸送裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020914605.2 申請日 -
公開（公告）號 CN212287264U 公開（公告）日 2021-01-05
申請公布號 CN212287264U 申請公布日 2021-01-05
分類號 B24B57/02(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 彭代全 申請（專利權(quán)）人 上海裕詩實(shí)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海伯瑞杰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王一琦
地址 201620上海市松江區(qū)新松江路1800弄3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體拋光液的旋轉(zhuǎn)輸送裝置，其包括：旋轉(zhuǎn)臂，包括豎管、旋轉(zhuǎn)頭、固定平臺和旋轉(zhuǎn)平臺，豎管與旋轉(zhuǎn)頭旋轉(zhuǎn)連接，漿液輸送管從豎管的底部穿入后從旋轉(zhuǎn)頭的頭部穿出；豎管的頂部與固定平臺固定連接，旋轉(zhuǎn)頭的底部與旋轉(zhuǎn)平臺固定連接，旋轉(zhuǎn)平臺位于固定平臺的上方；定位機(jī)構(gòu)，包括定位孔、套管、定位銷和彈性驅(qū)動(dòng)單元，定位孔設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺的尾部，套管固定在固定平臺的上表面，定位銷活動(dòng)地穿設(shè)在套管內(nèi)，彈性驅(qū)動(dòng)單元與定位銷相連接。本實(shí)用新型能使豎管與旋轉(zhuǎn)頭的復(fù)位角度保持在初始位置，減少了調(diào)整的難度和時(shí)間，且本實(shí)用新型還具有操作簡單、結(jié)構(gòu)小巧、安裝簡單、不影響原有機(jī)臺功能等優(yōu)點(diǎn)。??