一種銅表面化學(xué)鍍鈀活化液及其應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111325550.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114086160A 公開(kāi)（公告）日 2022-02-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN114086160A 申請(qǐng)公布日 2022-02-25
分類號(hào) C23C18/18（2006.01）I;C23C18/32（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周家珠;劉安;張兵;向文勝;趙建龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇艾森半導(dǎo)體材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 趙穎
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市千燈鎮(zhèn)黃浦江路1647號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種銅表面化學(xué)鍍鈀活化液及其應(yīng)用，所述銅表面化學(xué)鍍鈀活化液包括硝基化合物、鈀離子源、酸和溶劑；所述硝基化合物結(jié)構(gòu)如式I所示：其中R1?R5獨(dú)立地選自氫、C1?C6烷基、甲酸基或其堿金屬鹽、磺酸基或其堿金屬鹽、硝基或鹵素中任意一種；環(huán)A選自苯環(huán)或六元芳雜環(huán)。本發(fā)明提供的銅表面化學(xué)鍍鈀活化液鈀離子含量低，成本低，應(yīng)用于化學(xué)鍍鎳中能夠解決漏鍍現(xiàn)象。