獲取電容反饋式微扭轉(zhuǎn)鏡電容反饋信號(hào)的方法及電路
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910355532.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110333598B | 公開（公告）日 | 2021-04-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110333598B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-23 |
| 分類號(hào) | G02B26/08(2006.01)I | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 夏長鋒;鄭文會(huì);宋秀敏;游橋明;喬大勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 西安知微傳感技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 汪海艷 |
| 地址 | 710077陜西省西安市高新區(qū)丈八五路10號(hào)陜西省科技資源統(tǒng)籌中心B503室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提取一種獲取電容反饋式微扭轉(zhuǎn)鏡電容反饋信號(hào)的方法及電路，解決了微扭轉(zhuǎn)鏡電容反饋信號(hào)穩(wěn)定性差的問題，首先將脈沖信號(hào)作為驅(qū)動(dòng)信號(hào)驅(qū)動(dòng)電容反饋式微扭轉(zhuǎn)鏡振動(dòng)；確保在相鄰兩組驅(qū)動(dòng)脈沖間隔期間，微扭轉(zhuǎn)鏡至少能夠自由扭轉(zhuǎn)0.5個(gè)周期；其次，提取電容反饋式微扭轉(zhuǎn)鏡的電容反饋信號(hào)，將電容反饋信號(hào)轉(zhuǎn)化為電壓信號(hào)；然后，將步驟S2中的電壓信號(hào)進(jìn)行放大；最后在相鄰兩組驅(qū)動(dòng)脈沖間隔期間，提取放大后的電壓信號(hào)，作為真實(shí)電容反饋信號(hào)。省略了載波發(fā)生電路和檢波電路，消除因載波發(fā)生電路和檢波電路對(duì)電容反饋信號(hào)的影響，電路更簡潔，提高了電容反饋信號(hào)的穩(wěn)定性，同時(shí)采用特定的驅(qū)動(dòng)形式及信號(hào)提取方式獲得真實(shí)的電容反饋信號(hào)。?? |
