獲取電容反饋式微扭轉(zhuǎn)鏡電容反饋信號的方法及電路

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910355532.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110333598B 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN110333598B 申請公布日 2021-04-23
分類號 G02B26/08(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 夏長鋒;鄭文會;宋秀敏;游橋明;喬大勇 申請（專利權(quán)）人 西安知微傳感技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 西安智邦專利商標代理有限公司 代理人 汪海艷
地址 710077陜西省西安市高新區(qū)丈八五路10號陜西省科技資源統(tǒng)籌中心B503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提取一種獲取電容反饋式微扭轉(zhuǎn)鏡電容反饋信號的方法及電路，解決了微扭轉(zhuǎn)鏡電容反饋信號穩(wěn)定性差的問題，首先將脈沖信號作為驅(qū)動信號驅(qū)動電容反饋式微扭轉(zhuǎn)鏡振動；確保在相鄰兩組驅(qū)動脈沖間隔期間，微扭轉(zhuǎn)鏡至少能夠自由扭轉(zhuǎn)0.5個周期；其次，提取電容反饋式微扭轉(zhuǎn)鏡的電容反饋信號，將電容反饋信號轉(zhuǎn)化為電壓信號；然后，將步驟S2中的電壓信號進行放大；最后在相鄰兩組驅(qū)動脈沖間隔期間，提取放大后的電壓信號，作為真實電容反饋信號。省略了載波發(fā)生電路和檢波電路，消除因載波發(fā)生電路和檢波電路對電容反饋信號的影響，電路更簡潔，提高了電容反饋信號的穩(wěn)定性，同時采用特定的驅(qū)動形式及信號提取方式獲得真實的電容反饋信號。??