一種基于光電反饋的諧振式掃描鏡
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922073796.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210776030U | 公開（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210776030U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-16 |
| 分類號(hào) | G02B26/10(2006.01)I;H03L7/16(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 夏長(zhǎng)鋒;何耀軍;宋秀敏;鄭文會(huì);喬大勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 西安知微傳感技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 西安知微傳感技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 710077陜西省西安市高新區(qū)丈八五路10號(hào)陜西省科技資源統(tǒng)籌中心B503室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于微光機(jī)電領(lǐng)域，具體涉及一種基于光電反饋的諧振式掃描鏡。解決了現(xiàn)有技術(shù)中諧振式掃描鏡反饋集成難，反饋成本高，精度差等問題。包括掃描鏡、掃描鏡驅(qū)動(dòng)模塊、控制器、光發(fā)射模塊以及光接收模塊；掃描鏡驅(qū)動(dòng)模塊的輸出端與掃描鏡電連接，掃描鏡驅(qū)動(dòng)模塊的輸入端與控制器的輸出端電連接；光發(fā)射模塊用于發(fā)射準(zhǔn)直光源至掃描鏡背面；光接收模塊用于接收經(jīng)掃描鏡背面反射的光束，并轉(zhuǎn)換為同步掃描電脈沖信號(hào)；光接收模塊的輸出端與控制器的輸入端電連接。本實(shí)用新型基于較電容式角度反饋裝置的諧振式掃描鏡具有高信噪比，電路簡(jiǎn)易的優(yōu)點(diǎn)。較基于光學(xué)PSD式的角度反饋裝置的諧振式掃描鏡具有低成本，易集成的優(yōu)點(diǎn)。?? |
