一種基于光電反饋的MEMS振鏡模組
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922064353.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210776029U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210776029U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-16 |
| 分類(lèi)號(hào) | G02B26/08(2006.01)I;G01H9/00(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 夏長(zhǎng)鋒;宋秀敏;何耀軍;鄭文會(huì);喬大勇 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 西安知微傳感技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 西安智邦專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 西安知微傳感技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 710077陜西省西安市高新區(qū)丈八五路10號(hào)陜西省科技資源統(tǒng)籌中心B503室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于光電檢測(cè)和微光機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域，具體涉及一種基于光電反饋的MEMS振鏡模組。解決振鏡研發(fā)耗費(fèi)時(shí)間長(zhǎng)成本高的問(wèn)題。包括密封殼體及位于密封殼體內(nèi)部的振鏡驅(qū)動(dòng)組件與振鏡反饋組件；振鏡反饋組件包括激光器及光電檢測(cè)電路板；激光器與光電檢測(cè)電路板均與主控板電連接；激光器出射的光束入射至振鏡反面反射面；振鏡反面反射面將光束反射后入射至光電檢測(cè)電路板；光電檢測(cè)電路板用于檢測(cè)振鏡的振動(dòng)參數(shù)，并將振動(dòng)參數(shù)反饋至主控板；主控板的輸出端通過(guò)連接線(xiàn)引出密封殼體。通過(guò)振鏡光電檢測(cè)反饋組件，直接探測(cè)振鏡振動(dòng)位置，得到振鏡的幅值和相位信息，可根據(jù)振鏡振動(dòng)的實(shí)際幅值和相位調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)信號(hào)，使振鏡工作狀態(tài)穩(wěn)定在目標(biāo)角度。?? |
