一種基于光電反饋的MEMS振鏡模組

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922064353.9 申請日 -
公開（公告）號 CN210776029U 公開（公告）日 2020-06-16
申請公布號 CN210776029U 申請公布日 2020-06-16
分類號 G02B26/08(2006.01)I;G01H9/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 夏長鋒;宋秀敏;何耀軍;鄭文會;喬大勇 申請（專利權(quán)）人 西安知微傳感技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 西安智邦專利商標代理有限公司 代理人 西安知微傳感技術(shù)有限公司
地址 710077陜西省西安市高新區(qū)丈八五路10號陜西省科技資源統(tǒng)籌中心B503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于光電檢測和微光機電系統(tǒng)領(lǐng)域，具體涉及一種基于光電反饋的MEMS振鏡模組。解決振鏡研發(fā)耗費時間長成本高的問題。包括密封殼體及位于密封殼體內(nèi)部的振鏡驅(qū)動組件與振鏡反饋組件；振鏡反饋組件包括激光器及光電檢測電路板；激光器與光電檢測電路板均與主控板電連接；激光器出射的光束入射至振鏡反面反射面；振鏡反面反射面將光束反射后入射至光電檢測電路板；光電檢測電路板用于檢測振鏡的振動參數(shù)，并將振動參數(shù)反饋至主控板；主控板的輸出端通過連接線引出密封殼體。通過振鏡光電檢測反饋組件，直接探測振鏡振動位置，得到振鏡的幅值和相位信息，可根據(jù)振鏡振動的實際幅值和相位調(diào)節(jié)驅(qū)動信號，使振鏡工作狀態(tài)穩(wěn)定在目標角度。??