簡易大氣壓冷等離子體發(fā)生器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520729844.X 申請日 -
公開（公告）號 CN205071427U 公開（公告）日 2016-03-02
申請公布號 CN205071427U 申請公布日 2016-03-02
分類號 H05H1/24(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 畢鮮榮 申請（專利權(quán)）人 無錫思清源生物科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214072 江蘇省無錫市濱湖區(qū)建筑西路777號A3幢2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于大氣壓放電冷等離子體發(fā)生器技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種簡易大氣壓冷等離子體發(fā)生器。特征在于：所述發(fā)生器包括射頻電極、隔板和地電極，從而構(gòu)成平板型的大氣壓放電冷等離子體發(fā)生器。所述射頻電極具有橫縱交叉氣體通道結(jié)構(gòu)，可有效的將工作氣體均勻的分配到放電室，隔板將射頻電極和地電極隔開，保證電極間的放電間距，地電極與射頻電源地線連接，下部具有凸起結(jié)構(gòu)，凸起結(jié)構(gòu)表面具有規(guī)律排列的凹槽作為等離子體出口，該等離子體發(fā)生器結(jié)構(gòu)簡單，可以在比較低的擊穿電壓下產(chǎn)生大面積的、均勻的輝光放電等離子體，并且發(fā)生器下部凸起結(jié)構(gòu)可伸入到工件凹陷結(jié)構(gòu)內(nèi)部進(jìn)行處理，大大擴(kuò)展了其應(yīng)用范圍，其在等離子體薄膜沉積、刻蝕、消毒滅菌、工業(yè)微生物誘變育種，特別是大面積處理樣品的領(lǐng)域具有良好的應(yīng)用前景。