一種對稱性結(jié)構(gòu)布局的壓電頂針系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910407694.3 申請日 -
公開（公告）號 CN110137108A 公開（公告）日 2019-08-16
申請公布號 CN110137108A 申請公布日 2019-08-16
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 任敬之;朱起超;范楊雷;張淑蘭 申請（專利權(quán)）人 北京派和科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京頭頭知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京派和科技股份有限公司
地址 100085 北京市海淀區(qū)清河龍崗路27號1號樓202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及微電子封裝技術(shù)領(lǐng)域，目的是提供一種對稱性結(jié)構(gòu)布局的壓電頂針系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，工作頻率高、可靠性強、生產(chǎn)效率高。上述壓電頂針系統(tǒng)包括頂針、驅(qū)動所述頂針往復(fù)運動的驅(qū)動機構(gòu)和傳動機構(gòu)，驅(qū)動機構(gòu)包括框體、設(shè)置于所述框體內(nèi)的多鉸鏈多級放大組件和壓電陶瓷，所述壓電陶瓷水平設(shè)置于所述多鉸鏈多級放大組件內(nèi)且兩端與所述多鉸鏈多級放大組件固定，所述多鉸鏈多級放大組件相對于所述壓電陶瓷的軸線上下對稱，且所述多鉸鏈多級放大組件、所述傳動機構(gòu)和所述頂針均相對于所述壓電陶瓷的垂直中心線左右對稱。本發(fā)明解決了現(xiàn)有頂針系統(tǒng)零件種類繁多，工作頻率低的問題。