一種單晶硅太陽能電池片去除磷硅玻璃的工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310722757.7 申請日 -
公開（公告）號 CN103746030B 公開（公告）日 2016-05-11
申請公布號 CN103746030B 申請公布日 2016-05-11
分類號 H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 丁繼業(yè);安百俊;謝余才;陳剛剛;田治龍;任春蘭;何曉玢;葛瑞麗;曲巖 申請（專利權）人 寧夏銀星能源股份有限公司
代理機構 寧夏專利服務中心 代理人 趙明輝
地址 750021 寧夏回族自治區(qū)銀川市西夏區(qū)六盤山西路166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種單晶硅太陽能電池片去除磷硅玻璃的工藝，用于去除擴散后在硅片表面形成的磷硅玻璃。其特點是，包括如下步驟：（1）將槽式去PSG清洗機6個槽中的雜質清除；（2）向1#酸槽注入純水100L，然后加入16L質量濃度49%的電子純氫氟酸，再注入30L純水，最終得到氫氟酸溶液；向2#快排槽、3#槽、4#槽、5#槽、6#槽注滿純水；（3）將裝好硅片的提籃放入去磷硅玻璃清洗機上料口；（4）運行槽式去PSG清洗機；（5）結束后取出提籃，快速放入甩干機內，甩干。本發(fā)明可以去除硅片擴散過程中形成的磷硅玻璃，使去PSG后的硅片符合工藝要求，避免硅片表面出現(xiàn)親水現(xiàn)象，提升擴散后的少子壽命。