一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310524344.8 申請日 -
公開（公告）號 CN103560171B 公開（公告）日 2016-09-28
申請公布號 CN103560171B 申請公布日 2016-09-28
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 謝余才;陳剛剛;李昕潔;許莉 申請（專利權(quán)）人 寧夏銀星能源股份有限公司
代理機構(gòu) 寧夏專利服務(wù)中心 代理人 趙明輝
地址 750021 寧夏回族自治區(qū)銀川市西夏區(qū)六盤山西路166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種太陽能電池片石墨舟飽和的方法。其特點是，包括如下步驟：（1）將21片石墨舟送進爐管；（2）抽真空，時間3600s；（3）通入氨氣，溫度控制在425℃，放電功率7200w，持續(xù)240秒；（4）抽真空，通入氮氣7500sccm，時間20秒，再抽真空，重復(fù)兩次后恢復(fù)；（5）抽真空，通入氨氣7500sccm，溫度控制在420?430℃，預(yù)沉積120秒，再通入硅烷，持續(xù)放電9000?10000秒；（6）停止通氣，抽真空，至壓力達到35毫托時，通入氮氣6000sccm，再抽真空，重復(fù)兩次后恢復(fù)；（7）卸料即可。采用本發(fā)明的方法后，可以避免石墨舟飽和不充分，導(dǎo)致工藝過程中產(chǎn)生色差片的缺陷。