用于石英玻璃滲氫工藝的料架、反應(yīng)釜及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110752142.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113443820A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN113443820A 申請公布日 2021-09-28
分類號 C03B20/00（2006.01）I;C03C23/00（2006.01）I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 李建均;高運(yùn)周;黃遠(yuǎn)坤 申請（專利權(quán)）人 神光光學(xué)集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都欣圣知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭偉;胡小亮
地址 610000四川省成都市成華區(qū)建設(shè)南街9號2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種用于石英玻璃滲氫工藝的料架、反應(yīng)釜及裝置，涉及光刻級熔石英玻璃材料生產(chǎn)領(lǐng)域。本發(fā)明的料架包括圓筒狀的外殼，外殼內(nèi)設(shè)有與其連接的桿狀結(jié)構(gòu)的支撐件，外殼上均勻布滿若干進(jìn)氣孔；本發(fā)明的反應(yīng)釜包括密閉容腔，密閉容腔中設(shè)有用于加熱的加熱組件，密閉容腔內(nèi)設(shè)有料架；本發(fā)明的裝置包括反應(yīng)釜、用于對反應(yīng)釜抽真空的真空系統(tǒng)、用于將氮?dú)饣驓錃獬淙敕磻?yīng)釜內(nèi)的充氣系統(tǒng)以及用于排出并燃燒反應(yīng)釜內(nèi)氫氣的氫氣燃燒系統(tǒng)，石英玻璃在支撐件上完成滲氫工藝。