一種光刻機Mark點的CCD調(diào)焦裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021705398.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212694246U | 公開（公告）日 | 2021-03-12 |
| 申請公布號 | CN212694246U | 申請公布日 | 2021-03-12 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 分類 | 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 張雪奎;牛立久 | 申請（專利權）人 | 山東華楷微電子裝備有限公司 |
| 代理機構 | 蘇州金項專利代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 金星 |
| 地址 | 276800山東省日照市日照高新區(qū)高新六路17號日照智慧微電產(chǎn)業(yè)園（高新六路與艷陽路交匯處） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種光刻機Mark點的CCD調(diào)焦裝置，包括連接板，連接板上螺紋孔，螺紋孔上螺紋安裝有螺套，螺套上螺紋連接有螺桿，螺桿上螺紋連接有用于與CCD相機連接的調(diào)節(jié)套；螺套、螺桿和調(diào)節(jié)套的內(nèi)部在軸向上相互連通。通過螺套在連接板上的旋轉(zhuǎn)，不僅可以微調(diào)CCD相機的焦距，而且實現(xiàn)了CCD相機拍攝位置的旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié)，以便與拍攝的Mark點上下對應；通過調(diào)節(jié)套與螺桿的螺紋連接，便于調(diào)節(jié)套的軸向滑移，從而達到大范圍調(diào)節(jié)的焦距目的。實現(xiàn)了CCD相機焦距的微調(diào)和大范圍調(diào)節(jié)的目的，不同焦距的CCD相機均可在該裝置上使用，提高了CCD相機使用的通用性，有效降低了購置不同焦距CCD相機的成本。?? |
