一種光刻機(jī)的硅片直線預(yù)矯正裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021705397.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212694245U | 公開（公告）日 | 2021-03-12 |
| 申請公布號 | CN212694245U | 申請公布日 | 2021-03-12 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 張雪奎 | 申請（專利權(quán)）人 | 山東華楷微電子裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州金項專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 金星 |
| 地址 | 276800山東省日照市日照高新區(qū)高新六路17號日照智慧微電產(chǎn)業(yè)園（高新六路與艷陽路交匯處） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種光刻機(jī)的硅片直線預(yù)矯正裝置，包括機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)置有由第一升降動力裝置驅(qū)動的升降平臺，所述直線預(yù)矯正裝置安裝于機(jī)架上，該直線預(yù)矯正裝置包括水平滑座，所述水平滑座滑動安裝于機(jī)架上且由水平動力裝置驅(qū)動；所述水平滑座上設(shè)置有豎直支座，所述豎直支座上豎直滑動安裝有一次升降座，所述一次升降座由第二升降動力裝置驅(qū)動，所述一次升降座上還安裝有頂推硅片盛放盒內(nèi)硅片的矯正桿，所述矯正桿上設(shè)置有與硅片端部接觸的柔性材料。該直線預(yù)矯正裝置能夠在硅片轉(zhuǎn)移之前對硅片盛放盒內(nèi)的硅片進(jìn)行位置矯正，從而方便后續(xù)的尋邊操作。?? |
