六氟化硫氣體的膜分離、精餾回收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822271205.X 申請日 -
公開（公告）號 CN210001592U 公開（公告）日 2020-01-31
申請公布號 CN210001592U 申請公布日 2020-01-31
分類號 C01B17/45 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 宋學(xué)章;郭英才;郭鵬;秦鵬;荊潔 申請（專利權(quán)）人 山東飛源氣體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島發(fā)思特專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 山東飛源氣體有限公司
地址 256300 山東省淄博市高青縣高城鎮(zhèn)高青化工產(chǎn)業(yè)園4號路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種六氟化硫氣體的膜分離、精餾回收裝置，包括工藝部分和控制部分。工藝部分包括氣體收集氣柜、氣動閥組、壓縮機(jī)、球閥、氣體暫存槽、電動閥組、冷凝器、膜前精密過濾器BFi?1、膜分離器、電動閥、1#精餾塔、2#精餾塔、電動閥。控制部分包括動力柜、PLC控制柜、可視操作系統(tǒng)、現(xiàn)場儀表、接線箱等。本實用新型能夠?qū)㈤_關(guān)柜等廢棄的SF6/N2的混合氣體凈化、分離及提純，所用設(shè)備具有較高的智能化、自動化能力，不僅降低了人員的受傷風(fēng)險，而且使SF6的回收率高達(dá)95％以上，純度高達(dá)99.999％以上，實現(xiàn)了六氟化硫氣體的回收循環(huán)利用，此外，該裝置對設(shè)備材質(zhì)的要求較低，可實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)，具有極高的經(jīng)濟(jì)和環(huán)保效益。