一種水爆破碎多晶硅料的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911012499.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110605176A 公開（公告）日 2019-12-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN110605176A 申請(qǐng)公布日 2019-12-24
分類號(hào) B02C21/00;B02C19/18 分類 破碎、磨粉或粉碎；谷物碾磨的預(yù)處理;
發(fā)明人 李建軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安華晶電子技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安創(chuàng)知專利事務(wù)所 代理人 西安華晶電子技術(shù)股份有限公司
地址 710077 陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)二路91號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種水爆破碎多晶硅料的方法，該方法的具體過程為：將原生硅多晶硅棒料置于高真空熔煉爐內(nèi)并抽真空，然后通入氬氣并加熱保溫后隨爐冷卻，將冷卻的裝載原生硅多晶硅棒料的裝料框進(jìn)行流動(dòng)水冷卻，得到表面產(chǎn)生裂紋的原生硅多晶硅棒料，再進(jìn)行對(duì)碰破碎后分選，得到尺寸為10mm～100mm的硅料粗品，經(jīng)清洗烘干得到硅料。本發(fā)明采用裝料筐裝載原生硅多晶硅棒料進(jìn)行加熱保溫，然后在水槽中進(jìn)行水爆，再經(jīng)對(duì)碰破碎制備得到硅料，通過對(duì)工藝的整體設(shè)計(jì)和控制，得到粉塵少、表面圓潤(rùn)且尺寸均勻的硅料，促進(jìn)了硅料拉制單晶的成晶性，提高了硅料的產(chǎn)量和轉(zhuǎn)化率，減少了物料損耗，縮短了制備時(shí)間，操作簡(jiǎn)單，適合于硅料的大規(guī)模生產(chǎn)。