一種多晶硅鑄錠爐用六面加熱裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620909997.7 申請日 -
公開（公告）號 CN205907394U 公開（公告）日 2017-01-25
申請公布號 CN205907394U 申請公布日 2017-01-25
分類號 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李建軍;劉波波;賀鵬;虢虎平;史燕凱 申請（專利權(quán)）人 西安華晶電子技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安創(chuàng)知專利事務(wù)所 代理人 西安華晶電子技術(shù)股份有限公司
地址 710077 陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)二路91號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種多晶硅鑄錠爐用六面加熱裝置，包括布設(shè)在多晶硅鑄錠爐內(nèi)的坩堝上方的頂部加熱器、四個(gè)分別布設(shè)在坩堝的四個(gè)側(cè)壁外側(cè)的側(cè)部加熱器和布設(shè)在坩堝下方的底部加熱器，坩堝為立方體坩堝；坩堝呈水平布設(shè)，頂部加熱器和底部加熱器均呈水平布設(shè)，四個(gè)側(cè)部加熱器均呈豎直向布設(shè)；頂部加熱器、底部加熱器和四個(gè)側(cè)部加熱器均布設(shè)于多晶硅鑄錠爐內(nèi)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計(jì)合理且使用操作簡便、使用效果好，通過在坩堝下方增設(shè)底部加熱器對坩堝內(nèi)硅料進(jìn)行六面加熱，能解決現(xiàn)有多晶硅鑄錠爐所采用五面加熱結(jié)構(gòu)存在的熔化效率較低、坩堝底部氣體難以排除、鑄錠成品底部的含氧量較高等問題。