多晶硅鑄錠坩堝底部氮化硼涂層材料及其涂覆方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610694654.8 申請日 -
公開（公告）號 CN106348788B 公開（公告）日 2019-11-26
申請公布號 CN106348788B 申請公布日 2019-11-26
分類號 C04B41/87（2006.01）; F26B23/00（2006.01） 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 賀鵬; 劉波波; 吳增偉; 藺文 申請（專利權）人 西安華晶電子技術股份有限公司
代理機構 西安創(chuàng)知專利事務所 代理人 西安華晶電子技術股份有限公司
地址 710077 陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)二路91號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多晶硅鑄錠坩堝底部氮化硼涂層材料，由以下重量份的原料制成：有機膠結劑1份，去離子水2～2.5份，氮化硼0.8～1.2份，該涂層材料以氮化硼作為主要原料，能增大坩堝底部導熱效果，并能降低坩堝底部氧含量，并且穩(wěn)定性好，鑄錠過程中不易形成硬質點，能有效保證鑄錠成品的質量。同時，本發(fā)明還公開了一種將氮化硼涂層材料在多晶硅鑄錠坩堝底部涂覆的方法，包括步驟：一、涂層噴涂液配制；二、噴涂：坩堝內部底面上1m2區(qū)域內噴涂的涂層噴涂液中所含氮化硼的質量為100～200g；三、烘干；該涂覆方法簡單、設計合理且使用效果好，能簡便、快速且高質量完成坩堝底部涂層的涂覆過程，所制作底部涂層的使用效果好。