一種銦鋁共摻硫化鋅薄膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911214221.8 申請日 -
公開（公告）號 CN110747436A 公開（公告）日 2020-02-04
申請公布號 CN110747436A 申請公布日 2020-02-04
分類號 C23C14/30;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/58 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李文劍;陳偉新;賴文彬 申請（專利權）人 福建省電子信息應用技術研究院有限公司
代理機構 福州市景弘專利代理事務所（普通合伙） 代理人 福建省電子信息應用技術研究院有限公司
地址 350000 福建省福州市鼓樓區(qū)軟件園大道89號F區(qū)5號樓28層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種銦鋁共摻硫化鋅薄膜的及其制備方法，所述制備方法以下步驟：基片清洗：通過超聲波反復震蕩清洗玻璃基片，然后烘干玻璃基片；本征ZnS材料第一次蒸鍍：在真空環(huán)境中，通過電子束在玻璃基片上蒸鍍ZnS材料，形成第一層薄膜；銦鋁摻雜：當形成第一層薄膜后，首先在第一層薄膜上真空蒸鍍單質In，蒸鍍單質In后，再次通過電子束蒸鍍ZnS材料，形成第二層薄膜；在第二層薄膜上真空蒸鍍Al單質；本征ZnS材料第三次蒸鍍：蒸鍍Al單質后，再次通過電子束蒸鍍ZnS材料，形成第三層薄膜，得到摻雜硫化鋅薄膜；快速退火：通過在氬氣對得到的摻雜硫化鋅薄膜進行退火。通過真空電子束蒸發(fā)制備的銦鋁摻雜硫化鋅薄膜，成份易控制，成本低，產(chǎn)品性能優(yōu)良。