一種MEMS麥克風(fēng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921856445.4 申請日 -
公開（公告）號 CN210670559U 公開（公告）日 2020-06-02
申請公布號 CN210670559U 申請公布日 2020-06-02
分類號 H04R19/04(2006.01)I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 唐曉琦;金文盛;賈玉鑫;張彥秀 申請（專利權(quán)）人 北京燕東微電子股份有限公司
代理機構(gòu) 北京正理專利代理有限公司 代理人 張磊
地址 100015北京市朝陽區(qū)東直門外西八間房萬紅西街2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種MEMS麥克風(fēng)，包括基板、芯片組件以及殼體，其中殼體與基板固定連接，形成用于容納芯片組件的腔體，殼體設(shè)有朝向基板方向延伸的凹陷結(jié)構(gòu)，凹陷結(jié)構(gòu)包括朝向基板方向延伸的傾斜部以及平行于基板的水平部，凹陷結(jié)構(gòu)間隔設(shè)有至少兩個聲孔。本實用新型通過在殼體上設(shè)置凹陷結(jié)構(gòu)和聲孔，使凹陷結(jié)構(gòu)可以阻擋外界的異物和液體進入腔體內(nèi)，提高了麥克風(fēng)的可靠性，此外凹陷結(jié)構(gòu)還使得加工MEMS麥克風(fēng)過程中，能夠避免因外部沖擊所導(dǎo)致的殼體變形甚至MEMS聲音傳感器以及ASIC芯片等發(fā)生破損，從而延長MEMS麥克風(fēng)的使用壽命。??