一種用于碳化硅器件的場限環(huán)結(jié)終端結(jié)構(gòu)以及碳化硅器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920181119.1 申請日 -
公開（公告）號 CN209658180U 公開（公告）日 2019-11-19
申請公布號 CN209658180U 申請公布日 2019-11-19
分類號 H01L29/06（2006.01）I; H01L29/16（2006.01）I; H01L21/266（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱繼紅; 藺增金; 張志文 申請（專利權(quán)）人 北京燕東微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京正理專利代理有限公司 代理人 張雪梅
地址 100015 北京市朝陽區(qū)東直門外西八間房萬紅西街2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種用于碳化硅器件的場限環(huán)結(jié)終端結(jié)構(gòu)，包括：M個場限環(huán)，其中第1場限環(huán)環(huán)繞碳化硅器件的功能區(qū)，第m個場限環(huán)環(huán)繞第(m?1)個場限環(huán)；其中第m個場限環(huán)的結(jié)深小于第(m?1)個場限環(huán)的結(jié)深，M、n為正整數(shù)，且2≤m≤M。本公開的第二方面公開了一種碳化硅器件。