一種指向性MEMS麥克風(fēng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921844376.5 申請日 -
公開（公告）號 CN210670558U 公開（公告）日 2020-06-02
申請公布號 CN210670558U 申請公布日 2020-06-02
分類號 H04R19/04(2006.01)I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 唐曉琦;金文盛;劉偉;張彥秀 申請（專利權(quán)）人 北京燕東微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京正理專利代理有限公司 代理人 張磊
地址 100015北京市朝陽區(qū)東直門外西八間房萬紅西街2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種指向性MEMS麥克風(fēng)，包括第一基板、第二基板、第三基板、殼體以及芯片組件，其中：第一基板與殼體密封連接，形成用于容納第二基板、第三基板以及芯片組件的腔體；第一基板上設(shè)有第一聲孔；第二基板貼合設(shè)置在第一基板與第三基板之間，第二基板與第一聲孔對應(yīng)的位置上設(shè)有多個(gè)第二聲孔，多個(gè)第二聲孔排布形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；第三基板上設(shè)有與第一聲孔同軸的第三聲孔，第三基板遠(yuǎn)離第二基板的表面上固定有芯片組件。本實(shí)用新型提供的指向性MEMS麥克風(fēng)，結(jié)構(gòu)非常簡單且制造成本較低。此外，由于第二聲孔還能夠?qū)ν饨绠愇锛八M(jìn)行有效阻擋，從而對腔體內(nèi)的電子元器件形成有效保護(hù)，提高指向性MEMS麥克風(fēng)的使用壽命。??