激光檢測(cè)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920181798.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209673647U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-11-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209673647U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-11-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N21/73（2006.01）; G01N21/01（2006.01） | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 潘從元; 李朝陽(yáng); 安寧; 徐勇; 查振春 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽創(chuàng)譜儀器科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥誠(chéng)興知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 合肥金星機(jī)電科技發(fā)展有限公司; 安徽創(chuàng)譜儀器科技有限公司 |
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新區(qū)皖水路228號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種激光檢測(cè)系統(tǒng)，包括激光源、二向色鏡以及聚焦鏡組，激光源與二向色鏡之間設(shè)置有反射鏡，二向色鏡的鏡面與其入射光呈夾角式布置，激光源發(fā)出的激光束依次經(jīng)過(guò)反射鏡、二向色鏡、聚焦鏡組聚焦至樣品表面，燒蝕產(chǎn)生的等離子體信號(hào)經(jīng)由聚焦鏡組、二向色鏡反射至分析單元。上述方案通過(guò)反射鏡的設(shè)置，當(dāng)激光源發(fā)出的激光束經(jīng)過(guò)二向色鏡后發(fā)生偏移時(shí)，只需要調(diào)整反射鏡的反射角度就可以將二向色鏡透射后的激光束校正回預(yù)定光路上，這樣就不需要對(duì)二向色鏡以及聚焦鏡組進(jìn)行調(diào)整，使得調(diào)節(jié)十分方便。 |
