一種芯片良率的監(jiān)測方法及裝置、電子設(shè)備、存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111322816.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113987954A 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN113987954A 申請公布日 2022-01-28
分類號 G06F30/27（2020.01）I;G06F16/903（2019.01）I;G06F16/906（2019.01）I;G06K9/62（2022.01）I;G06N20/00（2019.01）I;G06F119/02（2020.01）N 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 詹揚揚 申請（專利權(quán)）人 成都海光微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市廣友專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 張仲波
地址 610041四川省成都市高新區(qū)天府大道中段1366號2棟天府軟件園E5座12層23-32號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開一種芯片良率的監(jiān)測方法及裝置、電子設(shè)備、存儲介質(zhì)，涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，能夠有效提高芯片良率監(jiān)測的準(zhǔn)確率和時效性。所述方法包括：根據(jù)芯片在預(yù)設(shè)測試中的測試結(jié)果，分別確定各監(jiān)測對象的良率信息，其中，所述良率信息包括芯片良率和/或良率損失，每個所述監(jiān)測對象包括以下任一種：同一批次的芯片、同一晶圓上的芯片、同一晶圓上同一預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)的芯片；根據(jù)所述良率信息，將各所述監(jiān)測對象劃分為至少兩個對象集合；從所述至少兩個對象集合中查找目標(biāo)集合，以根據(jù)所述目標(biāo)集合中各監(jiān)測對象對應(yīng)的工藝信息調(diào)整芯片工藝，其中，所述目標(biāo)集合攜帶所述良率信息波動的預(yù)警信息。本發(fā)明可用于半導(dǎo)體加工的良率控制。