一種硅烷氣相熱分解制備高純度納米級(jí)硅粉的方法以及裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910863591.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110526248B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110526248B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號(hào) | C01B33/027(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 鄭安雄;栗廣奉;張鵬飛;范金立;吳前程 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江中寧硅業(yè)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 衢州維創(chuàng)維邦專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 高永志 |
| 地址 | 324000浙江省衢州市柯城區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華蔭北路27號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及硅粉制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅烷氣相熱分解制備高純度納米級(jí)硅粉的方法以及裝置。本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種硅烷氣相熱分解制備高純度納米級(jí)硅粉的裝置，其特征在于：根據(jù)制備順序依次包括預(yù)熱釜、氣相熱分解箱、硅粉收集裝置、過(guò)濾裝置以及氫氣冷卻器；本發(fā)明所提出的硅粉制備方法具有步驟簡(jiǎn)單、生產(chǎn)高效、產(chǎn)品質(zhì)量高等優(yōu)點(diǎn)，本發(fā)明所提出的硅粉制備的裝置具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于操作，生產(chǎn)效率高以及節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。?? |
