一種利用低濃度HF溶液處理SiF4尾氣的尾氣吸收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020737330.X 申請日 -
公開（公告）號 CN212167037U 公開（公告）日 2020-12-18
申請公布號 CN212167037U 申請公布日 2020-12-18
分類號 B01D53/78;B01D53/68 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 栗廣奉;鄭安雄;姜忠平;吳前程 申請（專利權(quán)）人 浙江中寧硅業(yè)有限公司
代理機構(gòu) 衢州維創(chuàng)維邦專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 浙江中寧硅業(yè)有限公司
地址 324000 浙江省衢州市柯城區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華蔭北路27號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種利用低濃度HF溶液處理SiF4尾氣的尾氣吸收裝置，包括一級循環(huán)水洗部、二級循環(huán)水洗部、三級循環(huán)水洗部、循環(huán)堿洗部以及尾氣風(fēng)機；所述一級循環(huán)水洗部、二級循環(huán)水洗部、循環(huán)堿洗部以及尾氣風(fēng)機依次逐級連通，其特征在于：所述一級循環(huán)部的輸入端設(shè)置有用于緩沖待處理的SIF4氣體壓力波動的緩沖單元；所述緩沖單元包括尾氣緩沖罐；所述尾氣緩沖罐包括內(nèi)部設(shè)置有緩沖腔的罐體、設(shè)置在緩沖腔內(nèi)的螺旋緩沖管以及蝶閥；所述尾氣緩沖罐上設(shè)置有進氣管和出氣管；所述螺旋緩沖管橫向設(shè)置緩沖腔內(nèi)；且螺旋緩沖管的兩端分別與進氣管和出氣管連通；所述蝶閥安裝在出氣管的輸出口內(nèi)。本發(fā)明實用性強，易于推廣。