一種防靜電觸摸顯示一體屏的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910717210.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110527963B 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN110527963B 申請公布日 2021-09-07
分類號 C23C14/35;C23C14/08 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄭建軍;岳偉;楊夫舜;聶平 申請（專利權(quán)）人 蕪湖長信科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖安匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孟迪
地址 241009 安徽省蕪湖市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)汽經(jīng)二路六號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種防靜電觸摸顯示一體屏的制造方法，屬于觸摸顯示屏技術(shù)領(lǐng)域，該制造方法的步驟為：對TFT基板清潔，將TFT基板放置在磁控濺射腔室的樣品架上，保持磁控濺射腔室的真空度0.25Pa～0.35Pa，將TFT基板加熱至55℃～65℃，通入氧氣和氬氣，TFT基板的運(yùn)行速度保持1.1m/min，磁控濺射設(shè)備的電壓為335Pa～345Pa、功率為2500W～3500W下鍍膜，本發(fā)明的有益效果是，采用磁控濺射技術(shù)在基板上鍍膜，通過控制磁控濺射過程中的相關(guān)參數(shù)，使膜層在具備防靜電的同時(shí)而不影響觸控效果，整體工藝方法簡單、制造成本低、產(chǎn)能大、膜層性能穩(wěn)定，膜層厚度較小，更有利于使觸摸屏往輕薄化的方向發(fā)展。