一種用于引線框架銅層表面處理的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201721769889.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN207637748U 公開(kāi)(公告)日 2018-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN207637748U 申請(qǐng)公布日 2018-07-20
分類號(hào) H01L21/48 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林圖強(qiáng) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 廣州豐江微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 511458 廣東省廣州市南沙區(qū)東涌鎮(zhèn)太石工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種用于引線框架銅層表面處理的裝置,包括輸送槽、設(shè)置于輸送槽內(nèi)的反應(yīng)槽、設(shè)置于反應(yīng)槽內(nèi)的多個(gè)噴管、設(shè)置于輸送槽下方且與所述多個(gè)噴管連通的藥水供應(yīng)機(jī)構(gòu);所述反應(yīng)槽的兩端分別具有一個(gè)沿豎直方向開(kāi)設(shè)的狹長(zhǎng)開(kāi)口,用于供引線框架穿過(guò)反應(yīng)槽;以反應(yīng)槽兩端開(kāi)口的連線為界,反應(yīng)槽中的多個(gè)噴管分成兩列設(shè)置,所述反應(yīng)槽兩端開(kāi)口的連線兩側(cè)各設(shè)置一列噴管;所述噴管上沿豎直方向開(kāi)設(shè)有多個(gè)噴淋孔,噴淋孔朝向反應(yīng)槽的中部設(shè)置;所述噴管與藥水供應(yīng)機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有閥門。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更加科學(xué),充分考慮了引線框架的銅層表面處理的連續(xù)性和兼容性,具備高度的自動(dòng)化和泛用化特性。