一種自動(dòng)電漿發(fā)生器清潔裝置及其使用方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011191451.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112657941A 公開（公告）日 2021-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN112657941A 申請(qǐng)公布日 2021-04-16
分類號(hào) B08B5/02;B08B3/02;B08B13/00;G05B19/042 分類 清潔;
發(fā)明人 段云鵬;黃瑞;胡永峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳奧拓力機(jī)電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙惟盛赟鼎知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 馬鳳蘭
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)觀瀾街道黎光社區(qū)老圍461號(hào)401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種自動(dòng)電漿發(fā)生器清潔裝置，包括安裝基座、電漿發(fā)生器安裝架、狹縫板組和清潔度檢測系統(tǒng)，電漿發(fā)生器安裝架包括左安裝架體和右安裝架體，兩者相互扣合，且兩者之間安裝有電漿發(fā)生器、氣道和狹縫板組，氣道位于電漿發(fā)生器一側(cè)，狹縫板組與氣道連通，左安裝架體靠近安裝基座一端安裝有進(jìn)氣嘴，進(jìn)氣嘴的出氣口與氣道連通，進(jìn)氣口通過連接軟管與外界氣源連通。本發(fā)明能夠?qū)﹄姖{發(fā)生器表面進(jìn)行定時(shí)監(jiān)測，當(dāng)系統(tǒng)判斷需要進(jìn)行清潔作業(yè)時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)脈沖供氣，及時(shí)對(duì)電漿發(fā)生器表面進(jìn)行清潔；本裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，使用成本低，有利用電漿發(fā)生器的普及與推廣。本發(fā)明還提供一種自動(dòng)電漿發(fā)生器清潔裝置的使用方法。