體聲波諧振器、體聲波諧振器組件及制造方法、濾波器及電子設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010484457.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112134542B 公開（公告）日 2022-07-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN112134542B 申請(qǐng)公布日 2022-07-12
分類號(hào) H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I;H03H9/17（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 黃源清;龐慰;徐洋;楊清瑞 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 諾思（天津）微系統(tǒng)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金誠(chéng)同達(dá)律師事務(wù)所 代理人 -
地址 300462天津市濱海新區(qū)開發(fā)區(qū)西區(qū)新業(yè)五街27號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種體聲波諧振器，包括基底；聲學(xué)鏡；底電極；頂電極；和壓電層，其中：所述壓電層包括壓電上層和壓電下層，所述諧振器還包括設(shè)置在壓電上層與壓電下層之間的金屬插入層，所述插入層至少全部覆蓋有效區(qū)域。本發(fā)明也涉及一種上述體聲波諧振器的機(jī)電耦合系數(shù)的調(diào)節(jié)方法，包括步驟：選擇插入層的插入厚度、壓電上層的上層厚度與壓電上層和壓電下層的厚度之和的比值、插入層延伸到有效區(qū)域的邊界之外的延伸長(zhǎng)度中的至少一種，以調(diào)節(jié)機(jī)電耦合系數(shù)。本發(fā)明還涉及一種體聲波諧振器組件及其制造方法、一種濾波器以及一種電子設(shè)備。